近日，市计量院机械所张博、王志超两位同志参加了2019年中国计量测试学会几何量专业委员会年会暨技术学术交流会。

　　中国科学院院士、大连理工大学教授王立鼎老师出席了本次会议，国内许多知名高校的专家、中国计量科学研究院等兄弟院所的同行和仪器生产商参加了本次年会。国家计量院的高思田老师介绍了国际单位制中米的最新定义，米是光在真空中于（1/299 792 458）秒时间间隔内所经路径的长度，纳米几何量计量中用Si{20}晶格常数复现米的定义。与会专家重点在集成电路制造装备中的几何量检测技术、芯片测量技术、微纳尺度几何量测试技术等方面介绍了最新的科研成果。集成电路芯片的微纳米测量技术将会成为几何量计量中的下一个热点。

　　通过参加此次会议，院机械所同志开阔了眼界，拓展了思路，对于在长度计量传统领域中发现新课题，培育新业务增长点有很大帮助，未来力争在微纳米测量技术中有所突破。（机械所 王志超）